硅烷燃烧桶

喷涂和烘干设备时以及在集成电路和电子元件的制造领域中采用化学气相淀积 (CVD)技术时，其产生的工艺废气对人体是有害的，在高温下与空气接触时容易自燃，甚至常温下与空气或者氧化剂接触时也可能产生自燃，这种工艺废气主要是硅烷及氨氯等。

 —般采用焚烧法来处理这些工艺废气，但是现有的燃烧装置在工艺废气燃烧后所产生稠密的二氧化硅浓烟烟灰容易随气体一起从排气管排入空气中，造成污染。

硅烷燃烧筒是处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备，主要用于处理太阳能电池生产线行业以及CVD化学气相沉积工艺所产生的废气。

本产品采用优质不锈钢原料进行制造，根据硅烷与空气接触而自燃的特点，使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧，燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室，经过喷雾处理，使废气与中和循环液接触反应，然后进入脱液器脱液处理后由抽风机排入大气。